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  1. 研究報告
  2. №62 千葉工業大学研究報告2015

RF反応性スパッタリングによるCNx膜形成における摩擦特性に及ぼすスパッタガスの影響

https://cit.repo.nii.ac.jp/records/74
https://cit.repo.nii.ac.jp/records/74
d729ae43-fa27-4e11-927e-17535afb832c
名前 / ファイル ライセンス アクション
01坂本幸弘先生.pdf 01坂本幸弘先生 (946.1 kB)
Item type 紀要論文_JAIRO Cloud(WEKO3)対応_56aaa311(1)
公開日 2014-12-25
タイトル
タイトル RF反応性スパッタリングによるCNx膜形成における摩擦特性に及ぼすスパッタガスの影響
タイトル
タイトル Effects of spattering gas on the friction property of CNx films prepared by RF reactive sputtering
言語
言語 jpn
キーワード
主題 CNx,Ramen specroscopy,nano-indention,friction test, RF sputtering
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
著者 坂本, 幸弘

× 坂本, 幸弘

坂本, 幸弘

ja-Kana サカモト, ユキヒロ

en Sakamoto, Yukihiro

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城谷, 友保

× 城谷, 友保

城谷, 友保

ja-Kana シロヤ, トモヤス

en Shiroya, Tomoyasu

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斎藤, 邦夫

× 斎藤, 邦夫

斎藤, 邦夫

ja-Kana サイトウ, クニオ

en Saitoh, Kunio

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川名, 淳雄

× 川名, 淳雄

川名, 淳雄

ja-Kana カワナ, アツオ

en Kawana, Atuo

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書誌情報 千葉工業大学研究報告
en : Report of Chiba Insitute of Technology

巻 62, p. 9-14, 発行日 2015-01-01
出版者
出版者 Chiba Institute of Technology
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Ver.1 2023-05-15 10:24:20.707011
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