@article{oai:cit.repo.nii.ac.jp:00000074,
 author = {坂本, 幸弘 and Sakamoto, Yukihiro and 城谷, 友保 and Shiroya, Tomoyasu and 斎藤, 邦夫 and Saitoh, Kunio and 川名, 淳雄 and Kawana, Atuo},
 journal = {千葉工業大学研究報告, Report of Chiba Insitute of Technology},
 month = {Jan},
 pages = {9--14},
 title = {RF反応性スパッタリングによるCNｘ膜形成における摩擦特性に及ぼすスパッタガスの影響},
 volume = {62},
 year = {2015},
 yomi = {サカモト, ユキヒロ and シロヤ, トモヤス and サイトウ, クニオ and カワナ, アツオ}
}