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アイテム
SOI-MEMS技術による静電容量式マイクロ加速度センサの最適化に関する研究
https://cit.repo.nii.ac.jp/records/282
https://cit.repo.nii.ac.jp/records/28210378878-3887-486d-846f-bc56d02052f7
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
SOI-MEMS技術による静電容量式マイクロ加速度センサの最適化に関する研究 (7.6 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2020-03-22 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | SOI-MEMS技術による静電容量式マイクロ加速度センサの最適化に関する研究 Study on Optimization of MEMS Capacitive Accelerometers Fabricated using SOI-MEMS Technology(en) |
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| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | SOI-MEMS技術 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 静電容量式マイクロ加速度センサ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 小型化 | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | SOI-MEMS Technology | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | MEMS Capacitive Accelerometer Fabricated | |||||
| キーワード | ||||||
| 言語 | en | |||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Miniaturization | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者 |
劉, 健男
× 劉, 健男 |
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| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||
| 学位授与機関識別子 | 32503 | |||||
| 学位授与機関名 | 千葉工業大学 | |||||
| 学位授与年度 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 平成30年度 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2019-03-22 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第220号 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
