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窒化炭素および窒化ホウ素非晶質薄膜の作成と機械的特性に関する研究
https://cit.repo.nii.ac.jp/records/158
https://cit.repo.nii.ac.jp/records/1581fc343f7-8c2f-4205-8c92-6fc87889988c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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窒化炭素および窒化ホウ素非晶質薄膜の作製と機械的特性に関する研究 (336.8 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2016-06-22 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | 窒化炭素および窒化ホウ素非晶質薄膜の作成と機械的特性に関する研究 Study on the preparation of Carbon Nitride and Boron Nitride amorphous films and their mechanical properties |
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| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | 非晶質薄膜 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | 機械的特性 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | スパッタリング | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | 摩擦係数 | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | amorphous films | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | mechanical property | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | sputtering | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | friction coefficient | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||||||
| 著者 |
城谷, 友保
× 城谷, 友保
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| 学位名 | ||||||||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||||||
| 学位授与機関 | ||||||||||||
| 学位授与機関名 | 千葉工業大学 | |||||||||||
| 学位授与年度 | ||||||||||||
| 内容記述 | 平成27年度 | |||||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||||
| 学位授与年月日 | 2016-03-22 | |||||||||||
| 学位授与番号 | ||||||||||||
| 学位授与番号 | 32503甲第189号 | |||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||||
