@misc{oai:cit.repo.nii.ac.jp:00000158, author = {城谷, 友保 and Shiroya, Tomoyasu}, month = {2017-06-06}, title = {窒化炭素および窒化ホウ素非晶質薄膜の作成と機械的特性に関する研究}, year = {}, yomi = {シロヤ, トモヤス} }