@article{oai:cit.repo.nii.ac.jp:00000004, author = {山本, 秀和 and Yamamoto, Hidekazu}, journal = {千葉工業大学研究報告, Report of Chiba Institute of Technology}, month = {Jan}, pages = {29--33}, title = {ライフタイム測定によるシリコンデバイス製造ラインの重金属汚染評価}, volume = {64}, year = {2017}, yomi = {ヤマモト, ヒデカズ} }