@misc{oai:cit.repo.nii.ac.jp:00000266,
 author = {劉, 健男 and Liu, Jiannan},
 month = {2019-06-22},
 title = {SOI-MEMS技術による静電容量式マイクロ加速度センサの最適化に関する研究},
 year = {},
 yomi = {リュウ, ケンナン}
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