@phdthesis{oai:cit.repo.nii.ac.jp:00000255, author = {斉藤, 邦夫 and Saitou, Kunio}, month = {2019-03-22}, school = {千葉工業大学}, title = {硬質炭素系薄膜の密着性に関する研究}, year = {}, yomi = {サイトウ, クニオ} }