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アイテム
Electron Cyclotron Resonance (ECR)プラズマを用いた窒化物半導体薄膜の作製と表面・界面の評価の研究
https://cit.repo.nii.ac.jp/records/2000161
https://cit.repo.nii.ac.jp/records/2000161afa0ec46-2ef9-4ccd-992d-eded332a6fef
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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要旨_甲第272号 (528 KB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
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| 公開日 | 2025-06-22 | |||||||||
| タイトル | ||||||||||
| タイトル | Electron Cyclotron Resonance (ECR)プラズマを用いた窒化物半導体薄膜の作製と表面・界面の評価の研究 Investigation of the growth of nitride semiconductor thin films using ECR plasma and the evaluation of their surfaces and interfaces |
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| 言語 | ||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
| アクセス権 | ||||||||||
| アクセス権 | open access | |||||||||
| 著者 |
鳥居, 博典
× 鳥居, 博典
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| 著者（英） | ||||||||||
| 姓名 | TORII, Hironori | |||||||||
| 学位名 | ||||||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||||||
| item_10006_degree_grantor_9 | ||||||||||
| 学位授与機関識別子 | 32503 | |||||||||
| 学位授与機関名 | 千葉工業大学 | |||||||||
| item_10006_description_10 | ||||||||||
| 内容記述 | 令和6年度 | |||||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||||
| 学位授与年月日 | 2025-03-22 | |||||||||
| dissertation_number | ||||||||||
| 学位授与番号 | 甲第272号 | |||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||||
